第7章 EUV雙曝光實驗
情報部門接收到上級指示後，相關小組立即就對許一秋展開了全方位的調查和搜索。
從內閣極其鄭重的態度不難看出，此人的重要程度，無異於一份國家的機密文件。
各方調查小組不敢懈怠，全力以赴進行搜查。
一副掘地三尺，也要將其找到的架勢。
……
“老吳呢？”
“這家夥怎麽還沒來？”
會議室內，徐鴻遠有些急了。
現在大家都在共同研究許一秋的光刻機設計方案呢。
結果現在會議馬上都要結束了，這吳富國到現在還沒有來。
此時的眾人還在觀摩許一秋的直播講解。
聽到徐鴻遠的話後，這些科研學者這才後知後覺地發現北大的吳富國沒來。
“這個點，吳院士應該已經睡著了吧？”
一名教授抬手看了一眼手腕上的表，發現已經半夜十二點多了。
“這個老東西，這個年齡段，他怎麽睡得著的？”
徐鴻遠急的來回踱步。
現在一個科研天才就響當當的擺在他們的眼前。
正是召集所有科研大佬共同研究探討的絕好時機。
但恰好北大的院士吳富國就不在。
老實說，其他一些專家小角色的來不來就無所謂。
但吳富國不來，就好比劃船的時候忘記帶船槳了，怎麽劃的走？
國家自從創立科技院後。
國內最具有實力的科研團隊，分成了北大和清華兩派。
兩邊為了促進國家科技水平的進步，一直處於相互競爭，又相互扶持的狀態。
最主要的原因就是，清華擁有著大量的科研人才。
而北大有著目前國內最為先進的實驗設備。
所以說，兩邊一直是屬於一種互相依存，相互合作的關係。
簡單來說。
就是兩邊誰也離不開誰。
李副總神情肅然，“現在就聯係一下老吳，通知他有重要的事情需要馬上處理。”
徐鴻遠立馬掏出手機給吳富國撥了一個電話。
“對不起，您撥打的電話正在通話中，請稍後再撥，sorry……”
電話那頭立馬傳來了語音提醒。
“嗯？老吳深更半夜的不接電話，該不會真睡著了吧？”
一個電話沒撥通，徐鴻遠來勁了，又繼續回撥了過去。
“對不起，您撥打的電話正在……”
與此同時。
深夜的北大。
靜謐安寧。
實驗室內，燈光亮如白晝。
幾個實驗室的成員正萎靡不振地坐在設備前做著調試工作。
此時的吳富國在室內來回徘徊著。
不停地給項目的小組成員打著騷擾電話和短信轟炸。
“喂，是趙小東嗎？”
“是我，吳富國，趕緊抓緊時間來一趟實驗室，有重大實驗要進行！”
“把其他成員都叫上，就說實驗有新發現，我有辦法解決實驗難題了！”
撂下這些話，匆匆掛了電話後。
吳富國又接著撥通了其他小組成員的電話。
還不忘在群裏又艾特了一下全體成員。
“@全體成員，重要通知，所有人員必須馬上前往北實驗樓，有重要實驗進行！”
而一些還在宿舍裏睡覺的成員們，被一些電話和短信驚醒後，直接叫苦連天。
他們並不是缺乏實驗的精神，而是多年來有關光刻機實驗的屢次失敗早已銳挫了他們的自信心。
被西方封鎖這項技術也不是一年半載了，想要攻克關鍵的技術，根本是難如登天。
實驗到了現在更是毫無進展。
時間長了，這讓他們慢慢產生了一種他們一直在死胡同裏轉的錯覺。
似乎無論如何實驗，也不可能走出這個迷宮。
眼下臨時被召集到實驗室做實驗。
再加上又是深更半夜被吵醒。
實驗成員們的內心深處，自然是一百八十個不樂意。
還有的更是直接屏蔽了群消息，無視了吳富國的電話轟炸，假裝什麽也沒有看到，繼續呼呼大睡。
但大部分項目組成員，還是艱難地從**爬了起來。
匆匆披上了衣服，就急忙前往了實驗室。
畢竟是吳富國院士的親自來電。
盡管他們再怎麽不情願，院士的麵子當然還是要給的。
“院士，項目有所突破嗎？”
實驗室成員們陸陸續續地走進了實驗室後，有氣無力的問道。
從他們的眼神中看不到任何自信光彩。
一個個全都睡眼朦朧，一副還沒睡醒的模樣。
吳富國看著這群毫無動力的成員們，出乎意料的沒有發火。
反而安慰道：
“各位，我非常理解大家現在的苦悶。”
“畢竟，實驗到了現在毫無進展，暫時失去信心也是常有的事。”
“不過大家也不要灰心喪氣。”
“我找到了新的方法。這次實驗一定能成功！”
吳富國信心滿滿地說道。
從許一秋那邊得到了新的思路，這使他心情大好，整個人都充滿了精氣神。
吳富國的一番話，讓這些昏昏欲睡的研究員們稍微恢複了一些鬥誌。
但他們也隻當院士是在安慰他們。
實驗這麽久了。
漂亮話說的也不是一次兩次了。
他們真心不覺得這次也能成功。
雖然內心帶有質疑，但他們還是老老實實來到了自己的設備前，像往常那樣開始進行調試工作。
實驗室的中央位置，是一個EUV光刻機平台，上麵有照明單元、掩模板台、晶圓台等模塊，從外形來看，就像一個大型的精密儀器。
此時實驗成員們已經穿好了清潔服UV護目鏡與防輻射手套。
吳富國親自來到了控製台，神情肅然地盯著電腦屏幕上的數據變化。
“下麵進行EUV雙曝光實驗！”
此話一出。
實驗室的成員紛紛大吃一驚。
平時他們實驗時，隻會對光進行一次曝光。
力求製造更強更短波長的光。
但最終都以失敗告終。
但這一次，吳富國居然要求他們曝兩次光。
但曝光兩次就有用了嗎?
對於此次實驗，眾人的內心都疑慮和質疑。
似乎是看出了大家的疑惑。
吳富國保證道：“相信我，這次一定能造出更短更強波長的光！”
一名成員小心翼翼地將塗布了EUV光刻膠的晶圓裝載到了光刻機的晶圓台上。
“調整光源參數，立即開啟EUV光源。”
吳富國緊緊地盯著實驗參數，沉聲說道。
實驗員們馬上緊鑼密鼓的開始了實驗。
嗡。
一台大型激光設備正常運作，開始輸出穩定的EUV激光脈衝。
“很好，進行一次EUV曝光，曝光一定劑量。”
“保持晶圓位置不變，開始進行第二次EUV曝光！”
控製台前，吳富國緊緊地盯著不斷跳動的實驗參數和數據，聲音都有些發抖。
可想他此時的心情有多忐忑。
實驗助理員在一旁迅速地做著記錄參數。
片刻，不知道是誰激動喊了一聲。
“我的老天！”
“成功了！”
“這次光的強度比上次實驗的數據有了明顯提升！”